Sputtering이란?

높은 에너지를 가진 이온이 타겟 대상과 충돌을 통해 타겟의 원자들이 떨어져나오는 현상을 말합니다.

국내 최초 대면적 인라인 스퍼터 설비 삼원진공과 공동 개발 – 2.5 m * 3m
국내 최초 대면적 인라인 스프레이 전자동화 설비 개발 – 2.5m * 5m

Inline Sputter

Spray

커튼 코터

CVD HMDSO

Roll

Silk Screen